Über R3T

Die R3T GmbH, Rapid Reactive Radicals Technology (R3T) ist ein führender Hersteller von Remote Mikrowellen Plasma Generatoren für die Halbleiterindustrie. R3T entwickelt und vertreibt einzigartig kompakt konstruierte Remote-Plasmaquellen zur Erzeugung von hochangeregten und -reaktiven Radikalen für „trocken-chemische“ Prozesse.

R3T wurde 1998 in München gegründet. Nachdem zunächst fast ausschließlich die Halbleiterindustrie beliefert wurde, werden seit 2005 auch zunehmend andere stark wachsende Märkte beliefert. Dies sind vor allem die Solarindustrie, Anwendungen im Bereich MEMS und die „High End“ Uhrenindustrie.

R3T‘s Know How beruht vor allem auf der jahrzehntelangen Erfahrung der Gründer in der Halbleiterindustrie und dem Design von Mikrowellen Radikal Generatoren.

Im Jahr 2007 wurde eine enge Kooperation mit der Firma Muegge Electronic GmbH geschlossen, die zu einer erheblichen Verbesserung der Fertigungskapazität und der Fertigungs- und Servicezuverlässigkeit geführt hat. Außerdem ermöglicht diese Kooperation beiden Firmen ein breites Spektrum von Produkten im Bereich Plasma- und Mikrowellentechnologie anzubieten.

Seit Ende 2008 ist Muegge Electronic Mitglied der „Roth & Rau –Gruppe“. Die Roth & Rau AG, einer der weltweit führenden Anbieter von Plasmaprozess-Systemen für die Fotovoltaik-Industrie.