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TWR 2000T Microwave Radical Generator (links) und Power Supply (rechts)

Merkmale der TWR - Serie (maximale Ausgangsleistung 850W - 3000W):

1. Kompaktes Design
2. Hohe Effizienz und Plasmadichte
3. Kein Ionenaustritt aus der Plasma-Kammer
4. Flüssigkeitsgekühlte Plasma-Kammer
5. Problemloses Interfacing zu jedem Equipment
6. Einfache, schnelle und kostengünstige Wartung
7. Absolut abstimmungsfrei nach Maintenance,
    Komponentenwechsel und Prozessänderung
8. „Ultra-clean“
9. TÜV-zertifiziert

Spezifikationen:

Power Supply Input:

Magnetron output:
Kühlung:


Betrieb:

Abmessungen:



 

3 x 480V or 3 x 400V , 3 x 8A, 50/60Hz
2.450GHz +/- 10MHz, 2000W
MW-Power supply: luftgekühlt
Microwave Radical Generator: wassergek., min. 3 Liter / min
extern via PLC-Interface oder manuell mit front panel
Power Supply: plug-in Gehäuse 19’’, 4 Höheneinheiten, 460mm tief
Microwave Radical Generator: 350mm x 360mm x 130mm

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